Trong thiết bị xử lý wafer, các thanh dẫn tuyến tính được sử dụng để định vị chính xác và chuyển các tấm bán dẫn qua các giai đoạn khác nhau của quá trình sản xuất. Độ chính xác cần thiết trong thiết bị này là cao, với dung sai thường nằm trong phạm vi sub-micron.
Hệ thống kiểm tra tấm wafer cũng sử dụng các thanh dẫn tuyến tính để cung cấp chuyển động chính xác và trơn tru của các công cụ kiểm tra, cho phép đo lường và phát hiện các khuyết tật trên bề mặt wafer có độ chính xác cao.
Thiết bị quang nguyên, được sử dụng trong quy trình sản xuất chất bán dẫn để tạo mẫu bề mặt của tấm lợp, cũng yêu cầu các thanh dẫn tuyến tính có độ chính xác cao để đảm bảo định vị chính xác của tấm wafer và độ phơi sáng của mẫu.
Trong ngành công nghiệp bán dẫn, thanh dẫn tuyến tính được sử dụng vì độ chính xác tuyệt vời, độ cứng cao và ma sát thấp. Những đặc tính này cho phép thiết bị hoạt động với độ chính xác và độ lặp lại cao, dẫn đến kết quả sản xuất chất lượng cao. Với nhu cầu ngày càng tăng về thu nhỏ và hiệu suất cao của các thiết bị điện tử, nhu cầu về thanh dẫn tuyến tính trong ngành bán dẫn dự kiến sẽ tiếp tục tăng lên.
+8615622924499
+8615622924499
